Ultrapure Water System
超純水系統(tǒng)
超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.2MΩ*cm則稱為超純水。 超純水系統(tǒng)包括4個(gè)處理系統(tǒng): 預(yù)處理系統(tǒng)，反滲透系統(tǒng)，EDI(混床)系統(tǒng)，精處理系統(tǒng)。
電子半導(dǎo)體材料、電子芯片、液晶顯示屏、電池等生產(chǎn)及清洗用水； 金屬、化工、生物等領(lǐng)域研究所用水；航空航天、科研單位生產(chǎn)加工用水。